原子层沉积制造技术及生物传感应用

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原子层沉积制造技术及生物传感应用

作者：
刘磊著
出版社：
化学工业出版社

出版时间：
2024.03
ISBN：
978-7-122-45124-8
主题：
纳米技术
中图法分类号：
Q811.4
【中图法分类】
Q 生物科学 > Q81生物工程学（生物技术） > Q811仿生学
【学科分类】
工学 > 生物工程
工学 > 化学工程与技术 > 生物化工
工学 > 生物与医药 > 生物技术与工程

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简介

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简介

本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积(ALD)技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。

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