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MEMS技术前沿与应用发展
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简介
本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术,然后从共性技术、典型应用等角度重点介绍了各类MEMS技术的国内外进展,国内外MEMS应用研究的实例,MEMS应用现状及发展趋势。
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